Beneq Spatial Series ALD原子层沉积设备

空间系列产品信息

Beneq Spatial Series 可用于干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 世界上唯一商用的卷对卷 ALD 系统 倍耐克 C2R™ Beneq C2R™ 是我们集群兼容设备系列的空间 ALD 成员。 Beneq C2R 将等离子增强 ALD (PEALD) 工艺提升到全新水平 - PEALD 首次可用于大批量制造。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。