Beneq P Series ALD原子层沉积设备

P系列产品信息

Beneq P Series 可用于干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 大型通用 ALD 生产系统非常适合涂覆各种基材类型和厚膜。 Beneq P800 专门设计用于涂覆复杂形状的大型零件或大批量的小型零件。 Beneq P1500 是世界上最大的 ALD 反应器，专为涂覆大面积板材、透镜和 3D 部件而设计。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。