产品信息

用于化合物半导体器件制造的简单而优雅的 ALD 解决方案。

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和铸造厂的理想制造解决方案，旨在通过经济实惠的独立 ALD 批量工具来增强器件性能和可靠性。 Beneq Prodigy 提供跨多种晶圆类型和尺寸的最佳钝化和/或封装薄膜。

高端技术，价格更低。 Prodigy 为化合物半导体和 MEMS 制造市场带来了经济性、产能和可靠性方面的独特突破。

简单

有更多时间思考解决方案。 Prodigy 通过水平晶圆处理的自动装载以及易于侧面访问的直接维护和可维护性，提供了纯粹的简单性。

创新

定义新标准。该工具为采用 ALD 技术的化合物半导体和 MEMS 器件的经济实惠、大批量制造树立了全新标准。我们使用 Beneq 15 年来积累的简单自动化和可靠的反应器设计，为高端应用领域提供经过验证的结果。

FAB 就绪

Beneq Prodigy 在洁净室中兼容 SECS/GEM 通信功能，并符合最高的 SEMI S2 标准。

技术规格

方面

3500×2500毫米

最大批量负载

150 mm x 50 晶圆、100 mm x 75 晶圆

VCE 负载锁

一体化

独立系统

臭氧工艺能力