高温RTP炉产品信息

Annealsys Zenith Series 可用于干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 快速热处理设备 高温RTP炉 真力时系列 高温RTP炉高达2000°C一小时 用于石墨烯单层生长和碳化硅晶圆快速热注入退火的正确系统 碳化硅注入退火 高温SiC升华石墨烯 步聚 高温退火 Zenith 的规格：高温 RTP 系统

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。