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MC-050
同一腔室中的多工艺能力：DLI-CVD、DLI-ALD、MOCVD、RTP、RTCVD。
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DLI-CVD 系统
实验室2英寸DLI系统
MC-050
DLI系统MC-050应用
同一腔室中的多工艺能力：DLI-CVD、DLI-ALD、MOCVD、RTP、RTCVD。
MC-050 提供最广泛的新材料开发能力，包括单一和多金属氧化物以及过渡金属二硫属化物 (TMD) 和其他二维材料。
简单和多金属氧化物
金属、氮化物和合金
III-V族，宽带隙半导体
二维材料：石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 …
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