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AS-Premium
用于化合物半导体晶圆退火的 RTP 平台
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快速热处理设备
方形腔室 RTP 系统
AS-高级版
用于化合物半导体晶圆退火的 RTP 平台
AS-Premium 是一个多配置 RTP 平台，可以处理直径或正方形达 150 毫米的硅和化合物半导体晶圆。该系统可用于手动装载的研发应用，也可用于盒式到盒式大气机器人装载或真空集束工具的生产应用。
快速热退火 (RTA)
注入退火
接触退火（III-V 族和 SiC）
快速热氧化 (RTO)
快速热氮化 (RTN)
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