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AS-One
用于 RTA 和 CVD 工艺的 RTP 炉
科桥实验提供 Annealsys AS-One 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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快速热处理设备
用于 RTA 和 CVD 工艺的 RTP 炉
AS一号
多功能RTP系统
AS-One 是一款多功能 RTP 系统，可用于开发快速热退火和快速热 CVD 工艺。
快速热退火 (RTA)
注入退火
欧姆接触退火（III-V 和 SiC）
快速热氧化 (RTO)
快速热氮化 (RTN)
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