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AS-Micro
适用于实验室的经济型 3 英寸 RTP 系统。
科桥实验提供 Annealsys AS-Micro 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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快速热处理设备
经济型3英寸RTP系统
AS微
适用于实验室的经济型 3 英寸 RTP 系统。
双室版本可避免交叉污染问题。可选的手套箱接口。 AS-Micro 可以在大气压或真空下执行各种快速热退火工艺。
快速热退火 (RTA)
注入退火
欧姆接触退火
快速热氧化 (RTO)
快速热氮化 (RTN)
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