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AS-Master
冷壁室与脉冲退火能力相关
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快速热处理设备
RTP和RTCVD系统
AS-主控
冷壁室与脉冲退火能力相关
从研究到生产的多功能 200 mm RTP/RTCVD 系统。从室温到 1450°C，再到 10-6 Torr。扩展 RTCVD 功能（选项）。
冷壁室与脉冲退火功能相结合，是热敏基材退火的独特解决方案。
快速热退火 (RTA)
注入退火
欧姆接触退火（III-V 和 SiC）
硅碳化
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