二手光刻、曝光和黄光设备询价要注意什么？

光刻与黄光设备需要重点确认光源、镜头、对准系统、晶圆尺寸、平台精度、软件、洁净室环境、显影/烘烤配套和维护记录。若用于替换或扩线，应同步现有工艺窗口和厂务条件。