薄膜沉积设备应重点确认腔体、靶材或源瓶、加热系统、真空泵组、气体质量流量计、控制软件、工艺记录和厂务接口。MOCVD、ALD、PVD、CVD等设备的交付风险和恢复成本差异较大，需要逐项核对。